제품 세부 정보
원래 장소: 중국
브랜드 이름: Jingtan
인증: CE
모델 번호: JT-0305-C
지불 및 배송 조건
최소 주문 수량: 1 세트
가격: USD10,000-80,000/SET
포장 세부 사항: 목재 케이스
배달 시간: 60 일
지불 조건: 패/씨/티/티
공급 능력: 10PCS/MONTH
색상: |
맞춤형 |
보증: |
1년 |
일반 온도: |
900 ~ 1200 00 |
진공도: |
< 50Pa |
분위기 매체: |
진공/CH4/C3H6/H2/N2/AR |
색상: |
맞춤형 |
보증: |
1년 |
일반 온도: |
900 ~ 1200 00 |
진공도: |
< 50Pa |
분위기 매체: |
진공/CH4/C3H6/H2/N2/AR |
진공 퇴적 오븐은 탄소-탄소 복합 물질의 준비에 사용됩니다.그리고 퇴적 오븐은 주로 그래피트의 표면에 피로리틱 탄소 코팅을 준비하는 데 사용됩니다., 반도체 장치 및 열에 내성이있는 스쿠어 재료.
적용 범위:
그래피트, 반도체 장치, 열에 내성이 있는 스쿠어 재료
1기본 파라미터:
1) 설계 온도: 1250°C/1650°C/1800°C/2200°C
2) 일반적인 온도: 900~1200°C
3) 진공도: < 50Pa
4) 압력 상승 속도: 6.67pA / h (또는 150Pa / 24h) 빈 오븐의 차가운 상태에서
5) 난방 모드: 그래피트 저항 난방 또는 인덕션 난방, 독립적인 온도 조절, 좋은 온도 균일성
6) 대기 중: 진공 /CH4/C3H6/H2/N2/Ar
7) 가스 제어 모드: 질량 흐름 미터 제어, 다채널 가스 경로, 균일한 흐름 필드, 퇴적 죽은 각도, 좋은 퇴적 효과;
다단계적이고 효율적인 배기 처리 시스템, 환경 친화적, 청소가 쉽다.
8) 오븐 유형: 사각형, 둥근, 수직 또는 수평 구조 (비정규 설계), 완전히 닫힌 퇴적 챔버, 좋은 밀폐 효과, 강한 오염 방지 능력;
9) 오븐 냉각 모드: 오븐 껍질 물 냉각, 외부 순환 빠른 냉각 시스템을 선택할 수 있습니다, 짧은 냉각 시간, 높은 생산 효율;
2진공 퇴적 오븐의 구조:
구조 형태: 수평 - 측면 배류, 수직 - 위/아래 배류
오븐 문 잠금 모드: 수동/자동
오븐 껍질 재료: 안쪽 스테인리스 스틸/모든 스테인리스 스틸
단열 재료: 탄소 필트/그라피트 필트/탄소 섬유 가공 필트
히터, 머플 재료: 그래피트 / CFC
적외선 기기: 단일 색소 측정/복종 색소 측정
전원 공급원: KGPS/IGBT (중기 주파수 난방용만)
제품 사양:
| 매개 변수/모델 번호 | JT-0305-C | JT-0505-C | JT-0608-C | JT-0612C | JT-0812C | JT-1120-C | JT-1218-C | JT-1520-C |
|
작업 구역 크기 φ×H(mm) |
300×500 | 500×500 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
|
최고 온도 (°C) |
2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 |
| 온도 균일성 ((°C) | ±5 | ±5 | ±5/±75 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
| 제한 진공도 ((Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
|
압력 상승 속도 (Pa/h) |
0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 난방 방법 |
저항/인덕션 |
저항/인덕션 | 저항/인덕션 | 저항/인덕션 | 저항/인덕션 | 저항/인덕션 | 저항/인덕션 | 저항/인덕션 |
