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Hunan Jingtan Automation Equipment Co., LTD.
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반도체 물질의 얇은 필름을 준비하기 위한 CVD 오븐 퇴적 장비

제품 세부 정보

브랜드 이름: Jingtan

인증: CE

지불 및 배송 조건

최소 주문 수량: 1 세트

가격: USD12,000-100,000/SET

포장 세부 사항: 나무 상자 포장

배달 시간: 60 일

지불 조건: 패/씨/티/티

공급 능력: 30개 부분 / 부분마다 분기

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사양
강조하다:

반도체 물질에 대한 퇴적 장비

,

반도체 물질을 위한 CVD 오븐

원산지:
후난, 중국
종류:
유도로
사용:
증착로
비디오 출입 검사:
제공
기계 시험 보고:
제공
핵심 부품:
PLC
brand name:
Jingtan
전압:
380
(t)에 짓누르세요:
2 T
전력 (kW):
220
주요 판매점:
경쟁력 있는 가격
설계온도(℃):
1250-2200
불안 한 온도:
900-1200℃
압력 상승률(Pa/h):
0.67Pa/h(150Pa/24h)
가열 방법:
저항/유도
일하는 분위기:
진공/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
퍼니스 타입:
정사각형/원형수직/수평
용광로 냉각 모드:
용광로 쉘 수냉
적외선 장비:
단일/이중 비색계
온도 균일성:
±5
한계진공도(Pa):
1-100
판매 유형:
일반 제품
핵심 부품에 대한 보증:
1년
적용 가능한 산업:
기타, 반도체
원산지:
후난, 중국
종류:
유도로
사용:
증착로
비디오 출입 검사:
제공
기계 시험 보고:
제공
핵심 부품:
PLC
brand name:
Jingtan
전압:
380
(t)에 짓누르세요:
2 T
전력 (kW):
220
주요 판매점:
경쟁력 있는 가격
설계온도(℃):
1250-2200
불안 한 온도:
900-1200℃
압력 상승률(Pa/h):
0.67Pa/h(150Pa/24h)
가열 방법:
저항/유도
일하는 분위기:
진공/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
퍼니스 타입:
정사각형/원형수직/수평
용광로 냉각 모드:
용광로 쉘 수냉
적외선 장비:
단일/이중 비색계
온도 균일성:
±5
한계진공도(Pa):
1-100
판매 유형:
일반 제품
핵심 부품에 대한 보증:
1년
적용 가능한 산업:
기타, 반도체
설명
반도체 물질의 얇은 필름을 준비하기 위한 CVD 오븐 퇴적 장비
스펙트럼
진공 퇴적 오븐:
주로 탄소-탄소 복합재료의 제조에 사용되며 퇴적 오븐은 주로 그래피트 표면에 피로리틱 탄소 코팅을 제조하는 데 사용됩니다.반도체 장치 및 열에 내성이 있는 스쿠어 재료.
매개 변수/모델 번호
JT-0305-C
JT-0505-C
JT-0608-C
JT-0608-C
JT-0812C
JT-1120-C
JT-1218-C
JT-1520-C
작업 구역 크기
φ×H(mm)
300×500
500×500
600×800
600×1200
800×1200
1100×2000
1200×1800
1500×2000
최고 온도
(°C)
2300
2300
2300
2300
2300
2300
2300
2300
온도 균일성 ((°C)
±5
±5
±5/±75
±7.5/±10
±7.5/±10
±10/±15
±10/±15
±15/±20
제한 진공도 ((Pa)
1-100
1-100
1-100
1-100
1-100
1-100
1-100
1-100
제한 진공도 ((Pa)
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
난방 방법
저항/인덕션
저항/인덕션
저항/인덕션
저항/인덕션
저항/인덕션
저항/인덕션
저항/인덕션
저항/인덕션
반도체 물질의 얇은 필름을 준비하기 위한 CVD 오븐 퇴적 장비 0
설계 온도
1250°C/1650°C/1800°C/2200°C
일반적인 온도
900~1200°C
진공 정도
< 50Pa
압력 상승 속도
6.67pA /h (또는 150Pa / 24h) 빈 오븐의 차가운 상태에서
난방 모드
그래피트 저항 난방 또는 인덕션 난방, 독립적인 온도 조절, 좋은 온도 균일성
대기 중계
진공 /CH4/C3H6/H2/N2/Ar
반도체 물질의 얇은 필름을 준비하기 위한 CVD 오븐 퇴적 장비 1
가스 제어 모드
질량 흐름 측정기 제어, 다채널 가스 경로, 균일한 흐름 필드, 퇴적 죽은 각도, 좋은 퇴적 효과;다단계적이고 효율적인 배기 처리 시스템, 환경 친화적청소하기 쉽다
오븐 종류
사각형, 둥근, 수직 또는 수평 구조 (비정규 설계), 완전히 닫힌 퇴적 챔버, 좋은 밀폐 효과,
강력한 오염 방지 능력
오븐 냉각 모드
오븐 껍질 물 냉각, 외부 순환 빠른 냉각 시스템을 선택할 수 있습니다, 짧은 냉각 시간, 높은 생산
효율성
반도체 물질의 얇은 필름을 준비하기 위한 CVD 오븐 퇴적 장비 2
구조 형태
수평 - 측면 배류, 수직 - 위/아래 배류
잠금 모드
수동/자동
껍질 재료
안쪽 스테인레스 스틸/모든 스테인레스 스틸
단열물질
탄소 펠트/그래피트 펠트/탄소 섬유 가공 펠트
적외선 기기
단일 색소 측정/복색소 측정
전원 공급
KGPS/IGBT (중기 주파수 난방용으로만 적합)
제품 파라미터:
 
 
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